MEMS-MS

Celem projektu realizowanego dla Europejskiej Agencji Kosmicznej jest wykonanie spektrometru mas w technologii MEMS. Instrument taki powinien być mały i lekki, aby obniżyć koszty wysłania go w kosmos. Jednocześnie jego parametry użytkowe powinny być porównywalne z instrumentami klasycznymi. Ponadto, powinien charakteryzować się zwiększoną odpornością na temperaturę i wstrząsy oraz pracować w szerokim zakresie ciśnień.

Spełnienie tych wymagań było niezwykle trudnym i nigdy nie zrealizowanym zadaniem w skali mikro. Potencjalna użyteczność takiego instrumentu jest bardzo szeroka: od badania atmosfery planet, księżyców, stacji kosmicznych, ale także w różnych zastosowaniach na Ziemi (przemysł petrochemiczny, spożywczy, ochrona zdrowia).

Opracowany przez naszą grupę przyrząd zawiera kilka modułów MEMS: jarzeniowe źródło jonów z optyką jonową, kwadrupolowy analizator masy (QMA) oraz detektor jonów. Wielkość głowicy pomiarowej to 67×20,4×17 mm3, a jej waga wynosi 50 g.

Wyposażony jest w dedykowany układ elektroniczny. Przyrząd może pracować w średniej i wysokiej próżni (10-2 – 10-6 hPa) i jest w stanie wykryć gazy o masach w zakresie od 1 do 350 jednostek. Potwierdzona rozdzielczość wynosi 2%, co oznacza, że związki różniące się o 1 jednostkę masy można rozdzielić i rozróżnić. Dzięki pewnym modyfikacjom możliwe jest rozszerzenie zakresu jego pracy nawet do ciśnienia atmosferycznego, i dokonywać nim pomiaru widm nie tylko gazów, ale także próbek ciekłych czy stałych.

Wydarzenia
Aktywność
Projekty